上扬软件面向 8 英寸薄膜铌酸锂产线交付全套自研 myCIM 架构 CIM 系统，这套系统包含 MES、EAP、RMS、FDC 四大核心模块，专门适配薄膜转移、键合、刻蚀等光子芯片特色工艺，为这条面向 AI 高速光互联的薄膜铌酸锂产线搭建数字化制造底座，薄膜铌酸锂工艺对薄膜均匀度、工艺稳定性、批次追溯要求极高，微小参数波动就会影响电光调制芯片性能，上扬这套 CIM 方案可以实现全流程数据闭环、设备联动、工艺配方锁控和异常提前预警，同时架构预留扩展能力，方便后续产线升级到 12 英寸平台，补齐国内薄膜铌酸锂晶圆量产环节的国产制造软件短板，支撑下一代 800G、1.6T 及以上速率光模块上游光子芯片产能爬坡。薄膜铌酸锂被称为光子领域的关键材料，具备电光系数高、带宽大、光损耗低的优势，是超高速电光调制器的核心载体，过去国内很多产线硬件逐步落地，但适配光电特色工艺的国产 CIM 配套偏少，上扬软件这套方案把半导体成熟 CIM 能力迁移到光子芯片赛道，兼顾研发试产和量产制造两套模式并行。
一、CIM 四大核心模块功能对照表
| 模块名称 | 核心作用 | 薄膜铌酸锂场景价值 |
|---|---|---|
| MES 制造执行系统 | 晶圆批次全生命周期管理、工序流转、品质档案、生产追溯 | 从衬底入厂到芯片完工完整溯源，满足光通信供应链质控要求，新工艺快速试产验证 |
| EAP 设备自动化系统 | 产线各类工艺设备对接、数据采集、远程指令下发 | 解决薄膜铌酸锂产线设备型号杂、协议不统一问题，减少人工操作带来误差 |
| RMS 配方管理系统 | 工艺配方集中存储、分级审批、版本锁定、操作留痕 | 防止刻蚀、薄膜键合等高敏感工艺参数错用，保障薄膜厚度均匀性稳定 |
| FDC 故障检测与分类 | 设备、工艺传感数据实时监控、异常识别预警 | 把质量管控从事后检测变成事前预警，加快良率爬坡 |
二、薄膜铌酸锂产线制造难点
- 工序链条长：包含离子注入、薄膜剥离、键合、研磨、光刻、干法刻蚀、清洗等多道精密工序
- 工艺敏感度高：纳米级薄膜厚度、界面应力、刻蚀形貌都会直接决定调制器带宽与插损指标
- 试产迭代频繁：光子芯片 PDK 和工艺方案持续迭代，产线需要灵活切换研发流片和批量生产
- 设备异构化：光学、薄膜、刻蚀设备来自不同厂商，打通自动化联动难度大
三、上扬软件方案的关键设计特点
- ✅ 基于 myCIM 成熟底座，不是简单定制小 MES，具备晶圆厂级稳定性
- ✅ 原生适配光电化合物半导体工艺，区别于标准硅前道 CIM
- ✅ 可平滑扩容，支持产线后续升级到 12 英寸薄膜铌酸锂平台
- ✅ 开放数据接口，可以对接良率分析 SPC、YMS 等系统，形成完整质量平台
四、产业价值说明
薄膜铌酸锂是算力时代高速光模块的上游核心，海外在材料、工艺、制造软件上长期积累，国内正在加速晶圆级量产线建设。上扬软件国产 CIM 落地，意味着薄膜铌酸锂产线硬件、材料、制造管控软件的国产化链条进一步完善，降低光子芯片产线对海外工业软件依赖，支撑国内光模块厂商在超高速互联赛道自主可控。
【相关 FAQ】
问题 1：上扬软件 CIM 系统助力薄膜铌酸锂产线启航，CIM 系统对薄膜铌酸锂光子芯片产线起到什么作用？
回答 1：上扬软件这套助力薄膜铌酸锂产线启航的 CIM 系统，以 MES、EAP、RMS、FDC 协同管控，实现晶圆批次追溯、设备自动联动、工艺配方安全管控、工艺异常预警，稳定薄膜铌酸锂薄膜制备、刻蚀等精密工序，支撑电光调制芯片良率爬坡。
问题 2：上扬软件助力薄膜铌酸锂产线的 myCIM 架构，和普通半导体 MES 有什么区别？
回答 1：上扬软件用于薄膜铌酸锂产线的 myCIM 架构，在通用半导体底座基础上做光电特色工艺适配，专门针对薄膜转移、异质键合、光学晶圆检测等光子芯片工序优化，适配薄膜铌酸锂这类光电子产线频繁试产、工艺迭代快的特点。
问题 3：上扬软件 CIM 赋能的薄膜铌酸锂产线，薄膜铌酸锂主要用在什么地方？
回答 3：上扬软件 CIM 助力启航的薄膜铌酸锂产线，产出的薄膜铌酸锂晶圆用来制造高速电光调制芯片，是 AI 算力 800G、1.6T 高速光模块里面的核心器件，支撑数据中心超高速光互联。
【参考资料】
[2026-11-09]（上扬软件 CIM 系统助力薄膜铌酸锂产线启航）电子发烧友网
[2026-11-06]（产业速递：上扬赋能薄膜铌酸锂产线）爱集微
[2026-11-02]（上扬软件 myCIM 光电半导体 CIM 方案介绍）上扬软件官网
[2026-10-15]（薄膜铌酸锂光子芯片产业报告）集微咨询
【免责声明】
本文整理上扬软件薄膜铌酸锂 CIM 项目公开产业信息，CIM 系统上线不等于产线立刻实现稳定量产，薄膜铌酸锂良率、工艺迭代、客户验证周期存在不确定性；内容仅为光子制造产业资讯参考，不构成工业软件采购、产线投资决策建议，项目落地进度、产品指标以上扬软件与合作方官方披露为准。
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