佳能发售KrF半导体光刻机“FPA-6400ES6a” 实现高生产率和业界高水平套刻精度

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佳能 KrF 光刻机 FPA-6400ES6a 开售，高产能搭配 4nm 级套刻精度

佳能已经正式官宣 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，计划 2026 …

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2026年11月10日
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